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MarathonCP系列低温泵具有标准外型、超薄外型、手动功能、自动功能、不同类型法兰接口等选项供用户选择，并且可以在不破坏真空度或不将低温泵从真空腔内移出的情况下进行现场维护，延长使用寿命。抽速从1500L/S-9700L/S。
技术特点：
l多种接口安装方式可选
l结合Marathon®低温泵控制器可实现全自动再生控制
l采用Displex®气动技术
l自带设定点继电器
l可就地维修无需破坏真空
典型应用：
l物理气相沉积（PVD）
l离子注入
l化学气相沉积（CVD）
l分子束外延
l其他/实验室低温恒温器
l加速器
l真空炉
l薄膜沉积
住友低温泵的核心技术在于其高效的二级冷头设计。第一级冷挡板用于冷凝水蒸气（H?O）等沸点较高的气体，并有效阻挡辐射热；第二级冷阵则冷却至极低温度（约20K以下），用于冷凝捕集（N?）、（O?）、Ar）等常见气体，并通过低温吸附效应抽除（H?）、（He）等难凝性气体。这种组合确保了极高的抽速和极限真空度。
产品系列丰富，涵盖从小型到大型的各种规格，满足不同客户的容量需求。其特点包括：抽速范围广、极限真空度极高、运行安静无振动、且无需油润滑，能创造极其洁净的无烃真空环境。同时，住友低温泵以其出色的节能设计和长久的使用寿命，帮助客户有效降低综合运营成本，是高端制造和前沿科学研究中值得信赖的关键基础装备。
住友低温泵
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